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一、创建年代不同
御史：御史的抄创建年代是在先秦时期。
御史台：御史台的创建年代是东汉时期。
御史中丞：御史中丞的创建年代是秦朝时期。
御史大夫：御史大夫的创建年代是秦朝时期。
监察御史：监察御史的创建年代是隋文帝开皇二年。
二、地位不同
御史：御史在唐宋为从八品，明清为正七品。
御史台：御史台的地位低于六部。
御史中丞：御史中丞在秦汉为千石、唐朝正五品、宋朝正四品百。
御史大夫：御史大夫在秦汉为副丞相，唐宋低于六部尚书。
监察御史：监察御史的品级低，为七品、八品、九品。
三、职能不同
御史：御史是负责记录的史官、秘书官。
御史台：御史台的职能是负责监察事务。
御史中丞：御史中丞负责监察百官，代朝廷起草诏命文书等。
御史大夫：御史大夫的职能是监度察和起草诏命文书。
监察御史：监察御史的职能是监察百官、巡视郡县、纠正刑狱。
参考资料来源：百度百科-御史
百度百科-御史台
百度百科-御史中丞
百度百科-御史大夫
百度百科-监察御史
行走： 清代把不设专官的机构或非专任的官职称为行走（如军机处行走）。
督察院是属于监察官体系，督察院行走指兼职/临时任监察之责。
类似。
都察院百，明清时期官署名， 由前代的御史台发展而来，主掌监察、弹劾及建议。与刑部、大理寺并称三法司，遇有重大案件，由三法司会审，亦称“三司会审”。
明洪武十五年（1382年）改前代所设御史台为度都察院，长官为左、右都御史，下设副都御史、佥都御史。又依十三道，分设监察御史，巡按州县，专事官吏的考察、举劾。明代都察院不仅可以对审判机关进行监督，还拥有“大知事奏裁、小事立断”的权利，为最高监察机关。
清代改以左右副都御史专为总督、巡抚的国衔（明代，都御史、副都御史都兼用作加衔），以方便其行事。至雍正元年（公元1723年），又以六科道给事中并入。乾隆十三年（1748），废左佥都御史。清代都察院是法纪监督机关，既审核死刑案件专，另外参加秋审与热审，还监督百官。
作为明清监察制度的主要实施者，都察院在维护封建统治正常秩序和保障封属建国家机器平稳运转方面起到了重要的作用。
就是发展前后顺序的关系，督察院监管机制更严谨